Кафедру напівпровідникової електроніки було створено у 1996 році шляхом об’єднання двох кафедр радіофізичного факультету: фізики напівпровідників та радіоелектроніки.
У вересні 2009 року розпочався набір студентів на нову спеціальність — «Комп'ютерна інженерія». Підготовка студентів за цим напрямком забезпечується кафедрою напівпровідникової електроніки.